Санкт-Петербургский национальный исследовательский университет информационных технологий, механики и оптики

Учебные издания

ВВЕДЕНИЕ В ПРИКЛАДНУЮ ЭЛЛИПСОМЕТРИЮ. Учебное пособие по курсу «ОПТИКО-ФИЗИЧЕСКИЕ ИЗМЕРЕНИЯ». Часть 3. ЭЛЛИПСОМЕТРИЯ ПРОХОДЯЩЕГО СВЕТА

ВВЕДЕНИЕ В ПРИКЛАДНУЮ ЭЛЛИПСОМЕТРИЮ. Учебное пособие по курсу «ОПТИКО-ФИЗИЧЕСКИЕ ИЗМЕРЕНИЯ». Часть 3. ЭЛЛИПСОМЕТРИЯ ПРОХОДЯЩЕГО СВЕТА

И.Е. Скалецкая, В.Т. Прокопенко, Е.К. Скалецкий ВВЕДЕНИЕ В ПРИКЛАДНУЮ ЭЛЛИПСОМЕТРИЮ. Учебное пособие по курсу «ОПТИКО-ФИЗИЧЕСКИЕ ИЗМЕРЕНИЯ». Часть 3. ЭЛЛИПСОМЕТРИЯ ПРОХОДЯЩЕГО СВЕТА - : СПб: НИУ ИТМО, 2014. - 104 с. - экз.

Аннотация :

Учебное пособие рассчитано на студентов и аспирантов оптических специальностей высшей школы по направлениям «Техническая физика» (223200), «Лазерная техника и лазерные технологии» (200500) и имеет следующие практические цели:
1) ознакомление с принципами экспериментальной работы на приборах ручного
управления типа ноль-эллипсометров серии лазерных эллипсофотометров марки ЛЭФ-2,
3М, начиная с методов юстировки и калибровки до измерений и обработки первичных
данных;
2) пополнение банка данных измерениями новых оптических систем в проходящем и
отражённом свете всевозможных веществ и изделий – объектов измерений (ОИ);
3) освоение методик прецизионных измерений амплитудно-фазовых (Ψφ , Δφ)
характеристик поля световой волны после взаимодействия с исследуемым веществом при
косом падении (00 < φ <900) методами их многоугловых развёрток;
4) ознакомление с программным обеспечением компьютерной обработки первичной
измерительной информации и модельных оценок косвенно измеряемых оптических
параметров (d, n, k) исследуемых материалов на примере тест систем ОИ.


В тест-системах пособия рассмотрены аналитические свойства решений основного
уравнения эллипсометрии (ОУЭ) Друде, вопросы их математической корректности и
физической адекватности свойствам ОИ. Во главу угла логического рассмотрения
положено явление эффекта Брюстера и описывающие его законы.

PDF :

Название : ВВЕДЕНИЕ В ПРИКЛАДНУЮ ЭЛЛИПСОМЕТРИЮ. Учебное пособие по курсу «ОПТИКО-ФИЗИЧЕСКИЕ ИЗМЕРЕНИЯ». Часть 3. ЭЛЛИПСОМЕТРИЯ ПРОХОДЯЩЕГО СВЕТА Скачать PDF (1899.45 Кб)