Санкт-Петербургский национальный исследовательский университет информационных технологий, механики и оптики
Андреев С.В., Губанова Л.А., Путилин Э.С. Методические указания к лабораторному практикуму по курсу «Оптические покрытия» / Методическое пособие.
- СПб: СПбГУИТМО, 2006.
ISBN : УДК 29.33.39
Аннотация : Методические пособия к лабораторному практикуму по курсу «Оптические покрытия» содержит методы определения оптических постоянных металлических и диэлектрических слоёв, а также влияние на них технологических факторов, определяемых условиями осаждения слоёв, в частности чистоты исходных материалов, скорости испарения и угла поступления паров на поверхность подложки, температуры подложки. Кроме того, в работе содержится описание методов измерения оптических параметров тонких слоёв, как в процессе осаждения, так и в процессе эксплуатации.
PDF :Название : Методическое пособие. Скачать PDF (6058.71 Кб)