Микроэлектромеханические системы и датчики: Учебное пособие.

Калинкина М.Е., Пирожникова О.И., Ткалич В.Л., Комарова А.В. Микроэлектромеханические системы и датчики: Учебное пособие. - Cанкт-Петербург: Университет ИТМО, 2020. - 75 с. - экз.

Аннотация :

В учебном пособии рассмотрены вопросы актуальных областей применения МЭМС и датчиков, созданных на основе микротехнологий, основные материалы микросенсорной техники, а также элементная база микромеханических приборов и их измерительные свойства. Предназначено для обучения магистров по направлению подготовки 11.04.03 "Конструирование и технология электронных средств" для образовательной программы "Проектирование киберфизических систем защиты информации" по дисциплине "Микроэлектромеханические системы и датчики".

Описание :

Рекомендовано к использованию в Университете ИТМО по напрвлению подготовки 11.04.03 Конструирование и технология электронных средств в качестве учебного пособия для реализации основных профессиональных образовательных программ высшего образования бакалавриата.

Название : https://books.ifmo.ru/cms/books.php Скачать PDF (1532.14 Кб)