Оптические методы формирования микроэлементов информационных систем

Н. Д. Ворзобова, И. Ю. Денисюк Оптические методы формирования микроэлементов информационных систем - СПб: Спб ГУ ИТМО, 2008. - 82 с. - 100 экз.

Аннотация : В учебном пособии рассмотрены процессы формирования микроструктурных элементов фотоники и информационных систем, основанные на методах оптической литографии, голографии и фотоотверждения полимеров. Приведены основы современных технологий получения элементов и структур микронных, субмикронных и нано-размеров.

Описание : Пособие предназначено для бакалавров и магистров, обучающихся по направлению «Фотоника и оптоинформатика», а также студентов других оптических и информационных специальностей

Название : Оптические методы формирования микроэлементов информационных систем Скачать PDF (3307.45 Кб)

Название : Титульный лист Скачать PDF (354.30 Кб)