Лазерные микро- и нанотехнологии в микроэлектронике : Опорный конспект лекций.

Вейко В.П. Лазерные микро- и нанотехнологии в микроэлектронике : Опорный конспект лекций. - Санкт-Петербург: СПбГУ ИТМО, 2011. - 141 с. - 100 экз.

Аннотация :

     Для бакалавров и магистров направлений 200500 «Лазерная техника и лазерные технологии, 200200 «Оптотехника», 223200 «Техническая физика», 200700 «Фотоника и оптоинформатика», 200100 «Приборостроение», а также для студентов специальностей 200201 «Лазерная техника и лазерные технологии», 210401 «Физика и техника оптической связи». Курс также может быть полезен инженерам, ученым, менеджерам, которые интересуются применением лазерных технологий в микроэлектронике, для понимания преимуществ и ограничений использования лазеров в этой области, для расширения и углубления их знаний в области процессов лазерной обработки.

Название : ЛАЗЕРНЫЕ МИКРО-И НАНОТЕХНОЛОГИИ В МИКРОЭЛЕКТРОНИКЕ Скачать PDF (13987.22 Кб)