Дефектообразование и надежность больших интегральных схем: Учебное пособие.

Скворцов А.М., Фролкова Е.Г. Дефектообразование и надежность больших интегральных схем: Учебное пособие. - Санкт-Петербург: СПб ГИТМО (ТУ), 2003. - 139 с. - 100 экз.

Аннотация :

       В пособии рассмотрена классификация отказов БИС, рассмотрены дефекты кристаллов кремния, а также дефектообразование при формировании БИС. Приведены методы снижения влияния дефектов на выход годных и надежных БИС, в том числе с помощью методов геттерирования дефектов. Учебное пособие предназначено для студентов факультета компьютерных технологий и управления специальности 2205 "Проектирование и технология электронно-вычислительных средств". Рекомендуется к применению при курсовом проектировании и выполнении лабораторных работ в качестве основного методического материала по дисциплинам "Физика отказов и надежность БИС", "Конструирование и технология полупроводниковых интегральных схем", "Конструирование и технология пленочных гибридных интегральных схем". Учебное пособие подготовлено в рамках НИР "Разработка неразрушающих бесконтактных оптических методов исследования стереометрии и внутренних структурных дефектов элементной базы микроэлектроники и микропроцессорной техники".

Описание :

      Учебное пособие рекомендовано для межвузовского использования УМО по образованию в области радиотехники, электроники, биомедицинской техники и автоматизации