Кремниевая фотоника: Учебно-методическое пособие по практическим работам.

Григорьев Л.В. Кремниевая фотоника: Учебно-методическое пособие по практическим работам. - Санкт-Петербург: Университет ИТМО, 2016. - 93 с. - экз.

Аннотация :

Изложены основы технологии создания интегрально-оптических структур по планарной кремниевой технологии, приведены методы исследования физических свойств интегрально-оптических элементов кремниевой фотоники и микрофотоэлекроники.

Описание :

Рекомендовано в качестве учебно-методического пособия для магистров высших учебных заверений, обучающихся по направлению подготовки 12.04.03 «Фотоника и оптоинформатика».

Название : Кремниевая фотоника. Учебно-методическое пособие по практическим работам Скачать PDF (1805.44 Кб)