Планарные технологии в оптоэлектронике: Учебно- методическое пособие.

Андрюшкин В.В., Карачинский Л.Я., Колодезный Е.С., Копытов П.Е., Новиков И.И., Рочас С.С. Планарные технологии в оптоэлектронике: Учебно- методическое пособие. - Санкт-Петербург: Университет ИТМО, 2023. - 59, [2] с. - экз.

Аннотация :

     Учебно-методическое пособие предназначено для использования в рамках реализуемых дисциплин образовательных программ по направлениям подготовки 12.04.05 «Лазерная техника и лазерные технологии» и 16.04.01 «Техническая физика». В пособии приведены достаточные теоретические сведения и подробные описания лабораторных работ в области создания полупроводниковых кристаллов оптоэлектронных устройств. В пособии рассматриваются вопросы изготовления и конструирования эпитаксиальных пластин, дискретных полупроводниковых кристаллов и оптических модулей. В процессе выполнения лабораторных работ учащиеся знакомятся с технологическими этапами создания кристаллов, с процессом создания фотолитографических шаблонов с использованием программного обеспечения Klayout.

Описание :

       Рекомендовано к использованию в Университете ИТМО по направлениям подготовки 12.04.05 «Лазерная техника и лазерные технологии» и 16.04.01 «Техническая физика» в качестве учебно-методического пособия для реализации основных профессиональных образовательных программ высшего образования магистратуры.

Название : Планарные технологии Скачать PDF (3042.25 Кб)