Введение в прикладную эллипсометрию

И. Е. Скалецкая Введение в прикладную эллипсометрию - СПб: СПБ ГУ ИТМО, 2007. - 172 с. - экз.

Аннотация : Первая часть монографии авторского коллектива каф. ТТОЭ ГУ ИТМО, как учебное пособие по курсу оптических измерений «Введение в прикладную эллипсометрию», базировалась на анализе свойств решений основного уравнения эллипсометрии (ОУЭ) для объектов исследования (ОИ) с идеальной зеркальной границей раздела сред. Эта модель стала основой для метрологической проработки корректности методов эллипсометрии при определении компонент комплексного показателя преломления оптических систем, поверхность которых подвергалась обработке методами сверхглубокой шлифовки-полировки (СГШП) косвенно с помощью непосредственно измеряемых параметров поляризации поля световой волны. При численном моделировании решений ОУЭ для прямой и обратной задач эллипсометрии с повышенной точностью (двойной разрядностью) была выявлена уникальная зависимость поправок к точным значениям констант регулярного характера от углов падения света на ОИ. Причём с увеличением пробных значений экстинкции эти поправки перекочёвывали из области малых в область значительных даже при обычной разрядности представления машинных чисел. Для ОИ из класса сильно поглощающих металлов характер регулярности поправок стал идентичен угловым зависимостям этих констант, известным в металловедении как научно одиозная проблема Васичека.Физическая трактовка решения этой проблемы аппелировала к гипотезе о двояком смысле экстинкции – трактовке её как полного светоослабления по двум реальным механизмам взаимодействия света с веществом поглощения и рассеяния. Поскольку индикатриссы рассеяния всегда обладают естественной угловой зависимостью, то в эллипсометрических измерениях требовалось найти способ разделения констант на независящие от углов падения величины (показатели преломления и дисперсионного поглощения) и естественные индикатриссные функции рассеянного светоослабления. Настоящая работа посвящена анализу свойств решений ОУЭ для ОИ в виде модели однородных плоскопараллельных слоёв между идеальными границами Френеля. Подобная модель является наиболее распространённой в прикладных задачах материаловедения и так же метрологически важной для проработки корректности методов традиционной эллипсометрии и её программного обеспечения для численного решения нелинейных проблем ОУЭ как простого математического свойства в выбранной модели ОИ.

Название : Введение в прикладную эллипсометрию Скачать PDF (3838.14 Кб)