Санкт-Петербургский национальный исследовательский университет информационных технологий, механики и оптики
Скалецкая И.Е. Введение в прикладную эллипсометрию. Часть 2. Свойства решений ОУЭ для однородных слоёв: Учебное пособие по курсу "Оптические измерения".
- Санкт-Петербург: СПбГУ ИТМО, 2007.
Аннотация :
Учебное пособие имеет следующие цели: ознакомление с принципами экспериментальной работы на приборах ручного управления типа ноль-эллипсометров серии ЛЭФ-3М-1 от юстировки и калибровки до измерений и статистической обработки первичных данных; пополнение банка данных новыми измерениями оптических систем для анализа гипотезы об индивидуальности калибровочных процедур и нахождения их констант по независимым объектам измерений (ОИ); накопления данных по кинетике состояния ОИ, например, эволюции их памяти в приповерхностных слоях жидких сред, индуцированной из вне путём реструктуризации нанокластеров среды, наблюдаемых непосредственно по изменениям величин азимутов поляризаторов (Рк, Ак) прибора в оптимальных измерительных зонах, выявляемых с помощью предварительной юстировки по рабочим мерам на основе прецизионно отполированных оптических стёкол марки НС; освоение методики прецизионных измерений амплитудно-фазовых (Ψ φ, Δ φ) характеристик поля световой волны после взаимодействия с исследуемым веществом при косом падении (00 < φ <900 ) методом многоугловых развёрток; ознакомление с программным обеспечением компьютерной обработки первичной измерительной информации и модельной оценки (d, n, k) косвенно измеряемых оптических параметров исследуемых материалов на примере гель-золь покрытий стёкол и фото реструктуризации стеклокерамических ОИ.
Описание :
Учебное пособие рассчитано на студентов и аспирантов оптических специальностей высшей школы.
PDF :Название : Введение в прикладную эллипсометрию Скачать PDF (3838.14 Кб)